納米科技發展中，納米材料是它的前導，因為納米材料集中體現了小尺寸、復雜結構、高集成度和強相互作用以及高比表面積等現代科學技術發展的特點，其中應該指出的是納米材料是將量子力學效應工程化或技術化的最好場合之一，可能會產生全新的物理、化學現象。而納米結構較為復雜。
 

　　原子力顯微鏡是一種超高分辨率的掃描探針顯微鏡，能夠測定亞納米或微米級別的樣品表面特征。近日，歐洲計量創新與研究計劃(EMPIR)的項目“制造3D堆疊集成電路的計量”及其后續項目“可溯源的三維納米計量學”研發出了全球較快的計量原子力顯微鏡可用于復雜納米結構進行完整掃描。

 

　　這是與研發的德國聯邦物理研究院(PTB) 3D納米計量工作組負責人認為的，該原子力顯微鏡能夠對應用于半導體、納米光學、納米材料、生物科學等各個行業的復雜納米結構進行完整掃描。該項目成果極大地擴展了傳統原子力顯微鏡技術的性能，使其范圍更廣，準確性更高，速度更快，為應對工業挑戰提供了獨特的計量解決方案。
 

　　該項目研發的顯微鏡由一個末端有尖探針的懸臂組成，能夠“感覺到”或接觸到標本的表面結構，就像唱機上的唱針沿著膠片凹槽旋轉，并“播放”編碼在槽線中的音樂。此外，這種顯微鏡具有范圍廣、快速和準確的測量能力，可實現高達1 mm / s的掃描速度，可測量25 mm x 25 mm x 5 mm的體積，相當于其它原子力顯微鏡掃描速度的50倍，且測量不確定度低至亞納米級別。