【中國儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】2018年9月21日，上海計量院起草的《微納米臺階高度樣板校準(zhǔn)規(guī)范》和《微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板校準(zhǔn)規(guī)范》兩項地方計量技術(shù)規(guī)范進行審定。
 

 

　　審定會上，來自于全國幾何量長度計量技術(shù)委員會、復(fù)旦大學(xué)、浙江省計量科學(xué)研究院等單位的專家組成的專家組詳細(xì)聽取了起草組關(guān)于規(guī)程編制說明、征求意見匯總與處理、試驗報告的匯報，并對規(guī)程送審稿進行了認(rèn)真討論。
 

　　專家組一致認(rèn)為兩項校準(zhǔn)規(guī)范技術(shù)資料齊全、內(nèi)容完整，規(guī)范提出的計量特性合理、校準(zhǔn)方法科學(xué)，同意規(guī)程通過審定，將盡快形成報批稿后批準(zhǔn)發(fā)布。
 

　　微納米臺階高度(深度)標(biāo)準(zhǔn)樣板和微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板主要用于掃描探針顯微鏡、臺階儀、觸針式輪廓儀和光學(xué)式表面形貌測量儀等納米測量儀器的校準(zhǔn)，在納米級長度量值傳遞中起到關(guān)鍵作用。
 

　　以上兩個規(guī)范的編制也是國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應(yīng)用”的輸出成果，規(guī)范批準(zhǔn)發(fā)布后，預(yù)計將有效解決本市集成電路制造企業(yè)使用的微納米臺階高度(深度)標(biāo)準(zhǔn)樣板和微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板只能依靠國外機構(gòu)實現(xiàn)溯源的困境，對支撐我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展有重要的積極意義。