【中國(guó)儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】從磚塊大小的“大哥大”，到小巧輕便多功能的智能手機(jī)；從笨重的臺(tái)式電腦，到便攜輕薄的平板電腦，這些電子產(chǎn)品“瘦身”過程的背后均是――微納米技術(shù)的革新。廣東省計(jì)量科學(xué)研究院(以下簡(jiǎn)稱廣東省計(jì)量院)通過科研立院，使多種微納米精密分析儀器量值得到準(zhǔn)確溯源，為微納米計(jì)量準(zhǔn)確、技術(shù)水平接軌國(guó)際提供了技術(shù)支撐。
 

 

(圖片來自網(wǎng)絡(luò)，侵刪)
 

　　當(dāng)前科技日新月異發(fā)展，尤其是納米技術(shù)在材料、化學(xué)、生物、能源和醫(yī)藥衛(wèi)生等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，且具有重要地位和廣闊市場(chǎng)前景。納米技術(shù)研究主要是研究、發(fā)現(xiàn)和加工結(jié)構(gòu)尺寸小于100nm的材料、器件和系統(tǒng)，以獲得所需要的功能和性能。
 

　　隨著納米科技及微加工的發(fā)展，微納尺度產(chǎn)品的計(jì)量檢測(cè)愈加迫切，需求也逐漸增大。為解決量傳溯源問題，廣東省計(jì)量院通過承擔(dān)質(zhì)檢總局科研項(xiàng)目“微納米薄膜厚度的量值溯源及膜厚測(cè)量?jī)x器校準(zhǔn)技術(shù)研究”和省科技廳科研項(xiàng)目“微納米尺度薄膜臺(tái)階標(biāo)樣及膜厚量傳體系研究”，成功研制出微納米線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板、納米臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板、薄膜厚度標(biāo)準(zhǔn)樣品等。其研究成果可用于掃描電子顯微鏡(SEM)、掃描探針顯微鏡、X射線熒光測(cè)厚儀的校準(zhǔn)。在此基礎(chǔ)上，廣東計(jì)量院率先在國(guó)內(nèi)建立掃描探針顯微鏡、X射線熒光測(cè)厚儀校準(zhǔn)兩項(xiàng)大區(qū)級(jí)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，基本解決華南地區(qū)該類微納米尺度儀器的量傳溯源問題。
 

　　為促進(jìn)微納米技術(shù)水平與接軌國(guó)際，廣東省計(jì)量院參與了國(guó)家科技支撐計(jì)劃項(xiàng)目“微納技術(shù)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究”，協(xié)助國(guó)家計(jì)量院開展計(jì)量型掃描電鏡及雙探針掃描探針顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量裝置的研究，在國(guó)內(nèi)首次實(shí)現(xiàn)掃描電鏡的測(cè)量結(jié)果直接溯源至國(guó)際米定義激光波長(zhǎng)基準(zhǔn)，同時(shí)利用雙探針測(cè)量模式，突破探針顯微鏡的測(cè)量盲區(qū)，實(shí)現(xiàn)真三維納米結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)確測(cè)量。
 

　　目前，經(jīng)廣東省計(jì)量院校準(zhǔn)的掃描電子顯微鏡、X射線熒光測(cè)厚儀等高端分析儀器，為華南地區(qū)的微電子、超精密加工、新材料以及汽車制造產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域共150多家企業(yè)提供了轉(zhuǎn)型升級(jí)的量傳溯源支撐，助推產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)。例如，國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)深圳華星光電在液晶顯示面板研發(fā)過程中存在精密元器件量值不確定等問題，一直沒有攻關(guān)成功。廣東省計(jì)量院對(duì)其微觀分析儀器進(jìn)行校準(zhǔn)和溯源，確保儀器測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確可靠，促進(jìn)了該企業(yè)的高端液晶面板開發(fā)。
 

　　隨著新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，微納米技術(shù)將涉及新材料、新能源、新裝備等幾乎所有新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。廣東省計(jì)量院在此項(xiàng)技術(shù)上取得多項(xiàng)突破，為未來其他計(jì)量基準(zhǔn)所需的微納器件自主研發(fā)奠定了基礎(chǔ)。據(jù)悉，廣東計(jì)量院將加大微納技術(shù)研發(fā)投入和力度，為微納技術(shù)進(jìn)入產(chǎn)業(yè)提供支撐，助力“中國(guó)制造2025”。