(超)純水電導(dǎo)率測量校準(zhǔn)裝置示意圖及國際輔助比對結(jié)果
 

　　電導(dǎo)率是國際單位制導(dǎo)出單位。電導(dǎo)率以溯源至國際單位制基本單位的電導(dǎo)率計(jì)量基準(zhǔn)裝置復(fù)現(xiàn)的量值為源頭，通過標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)和計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)等實(shí)現(xiàn)量值傳遞。CMC是米制公約國國際互認(rèn)的校準(zhǔn)與測量能力。國際計(jì)量委員會(huì)(CIPM)通過組織關(guān)鍵國際比對和國際同行評審量化各成員單位的校準(zhǔn)與測量能力，從而保證各成員單位CMC數(shù)據(jù)庫科學(xué)性、有效性和國際可比性，進(jìn)而確保校準(zhǔn)與測量證書國際互認(rèn)的有效性。
 

　　據(jù)悉，中國計(jì)量院是國際上少數(shù)幾家具備研制(超)純水電導(dǎo)率測量校準(zhǔn)裝置能力的國家計(jì)量院之一。中國計(jì)量院經(jīng)過多年研究，自主設(shè)計(jì)了基于絕對測量方法的雙內(nèi)電極同軸圓筒電導(dǎo)池，全面提升(超)純水電導(dǎo)率國家測量校準(zhǔn)能力水平。
 

　　2018年至2020年，中國計(jì)量院參加由德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究院主導(dǎo)的Euramet.QM-S12國際輔助比對，各比對量值點(diǎn)均獲得國際等效一致。量值范圍0.055 uS/cm ~ 5 uS/cm、擴(kuò)展不確定度0.2% ~ 1.1%，比對報(bào)告發(fā)表在國際計(jì)量領(lǐng)域權(quán)威期刊METROLOGIA。2019年和2024年，(超)純水電導(dǎo)率測量校準(zhǔn)裝置的技術(shù)能力均順利通過國際同行評審。2024年，(超)純水電導(dǎo)率量值的CMC經(jīng)國際計(jì)量組織評審后獲得國際互認(rèn)，并于9月30日在BIPM公布。
 

　　目前，全球獲得超純水電導(dǎo)率量值(0.055 uS/cm)CMC國際互認(rèn)的國家計(jì)量院僅有4家，包括中國計(jì)量院、德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究院、丹麥國家計(jì)量院和捷克國家計(jì)量院。此次發(fā)布可為我國電子、醫(yī)藥、食品、發(fā)電等領(lǐng)域(超)純水電導(dǎo)率的精密測控提供關(guān)鍵計(jì)量技術(shù)支撐，助力我國半導(dǎo)體器件、集成電路、電子器件和醫(yī)藥等產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。(文/圖：王海、宋小平)