7月19日,國家重點研發計劃“新型顯示與戰略性電子材料”重點專項“大尺寸氧化鎵半導體材料與高性能器件研究”項目2024年度年中交流會在杭州光學精密機械研究所(以下簡稱“杭州光機所”)召開。國家自然科學基金委員會高技術中心原副主任卞曙光,張龍副所長,重點研發計劃項目負責人齊紅基研究員,中國科學院上海硅酸鹽研究所科技產業處副處長吳永慶,以及相關領域專家、項目成員等20余人出席了會議。
會上,張龍代表項目承擔單位致歡迎辭,并指出近一年來該項目取得了一定進展,期待各位專家能給項目組提出更多寶貴的建議,開展更廣泛的交流合作。
齊紅基研究員就項目中期總體進展情況進行匯報。他表示自項目立項以來,項目組建立共振摻雜機制模型,在氧化鎵單晶制備及工程化、p-型氧化鎵研究及氧化鎵功率器件、氧化鎵射頻器件等方面取得一系列標志性成果,逐漸形成研究閉環。
各子課題負責人分別匯報工作進展,與會專家從技術本身、未來應用場景以及項目團隊之間的交流合作方面提出了建議。
吳永慶作“關于
標準引領,搶占科技制高點,發展新質生產力”的報告,他指出應積極推動科技創新和產業創新融合發展,不斷提高科技成果轉化和標準化水平,以標準化助力打造新質生產力發展引擎,以核心技術標準為抓手,占領科技制高點、掌握話語權。
卞曙光總結發言,他肯定了項目總體進展及全鏈條工作部署。他強調,氧化鎵材料及其未來技術發展趨勢,已經得到國家及地方政府的廣泛認可,項目團隊要聚焦行業難點、痛點,解決材料生長技術“卡脖子”問題;要對標國際,培養進入國際標準的專業化人才,搶占戰略制高點;要加強開放、合作、共享,建立知識產權共享的機制,并找準合適的應用場景,獲取更大的發展。
該項目由中國科學院上海光學精密機械研究所牽頭,聯合廈門大學、吉林大學、中國電子科技集團公司第五十五研究所、北京中材人工晶體研究院有限公司、復旦大學、電子科技大學、杭州光機所、杭州富加鎵業科技有限公司多家單位協同攻關。項目面向發展氧化鎵基日盲紫外探測及功率電子器件的迫切需求,以解決氧化鎵單晶襯底和外延薄膜缺陷與摻雜機制,微觀電子結構、薄膜物性和器件性能構效關系等關鍵科學問題為基礎,突破6英寸單晶熱場設計、高質量外延膜生長、器件核心結構設計等關鍵技術,研制出新一代高性能氧化鎵基功率及探測器件。