項目驗收專家組由14位專家組成，清華大學段文暉院士和武漢大學劉勝院士分別擔任驗收專家組組長和副組長。專家組首先聽取了項目負責人、中國科學技術大學杰出講席教授陸亞林關于“太赫茲近場高通量材料物性測試系統”項目匯報。陸亞林教授帶領項目組歷時七年，克服了前沿技術挑戰和國際貿易形勢變化所帶來的困難，攻堅克難，成功研制太赫茲近場高通量材料物性測試系統。
 

　　項目通過研發可調諧預聚束太赫茲激光光源和寬譜脈沖光源、探針和樣品雙掃描、大口徑矢量磁體等核心技術，研制了一套太赫茲近場高通量材料物性測試系統。該系統由復合光源、傳輸光路、多物理場、近場探測、中央控制及通用系統等構成，主體設備和相關部件已全部就位，系統運行狀態良好。達到了計劃書的全部技術指標，其中部分指標優于計劃書指標。
 

　　項目組突破了傳統需要在100 K左右低溫和真空才能實現的瓶頸，首次獲得室溫大氣環境下的原子分辨太赫茲隧道電流成像；突破了多場條件集成技術瓶頸，首次獲得低溫強磁場下的原子分辨太赫茲近場隧道電流成像；突破了冷壁貫穿孔光學兼容技術瓶頸，成功研制出大口徑超導矢量磁體，參數顯著高于國際已有矢量磁體；突破了預聚束電子束團串激發0.5-5 THz相干輻射、輕量化固定磁極間隙波蕩器、電控偏振分合束激光脈沖串成型光路等技術瓶頸，研制出緊湊型可調諧太赫茲激光器系統，實現了激光中心頻率大范圍調節。
 

　　該系統相關技術還被應用于拓撲材料、人工磁結構等測量，包括在超薄氧化物薄膜異質結中測得了斯格明子并具有規?；匦?；觀測到具有平帶結構中的長程鐵磁序；在磁阻薄膜中實現了可控磁性莫爾條紋；確立了拓撲克爾效應作為磁斯格明子結構的新機制。
 

　　驗收專家組還聽取了松山湖材料實驗室馮稷研究員代表項目監理組的監理報告、合肥工業大學吳玉程教授代表儀器測試驗收專家組的儀器測試報告、南京信息工程大學袁敏正高級經濟師代表財務驗收專家組的財務驗收報告、中國科學院檔案館潘亞男研究館員代表技術檔案驗收組的檔案驗收報告。其中儀器測試、財務、檔案由基金委組織專家于7月24-26日順利完成了分項驗收。驗收專家組和基金委相關領導現場考察了儀器設備運行情況。專家組對項目研制工作給予了高度評價，一致認為項目組全面完成了項目工作，評價結果為A。
 

　　參加驗收會的還有國家自然科學基金委工程與材料科學部副主任苗鴻雁、賴一楠，中國科學院科技基礎能力局副局長盧方軍、科技條件處副處長陳代謝，項目依托單位中國科學技術大學微尺度物質科學國家研究中心主任羅毅等。(合肥微尺度物質科學國家研究中心、科研部)