近日，合肥市科技局發(fā)布了2022年度第一批市科技重大專項(xiàng)“揭榜掛帥”項(xiàng)目立項(xiàng)名單(共9項(xiàng))，合肥物質(zhì)院安光所光學(xué)遙感中心科研團(tuán)隊(duì)申報(bào)的“集成電路高精密套刻檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)研制及應(yīng)用”項(xiàng)目成功上榜，獲最高資助經(jīng)費(fèi)500萬元。
 

　　項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)聚焦半導(dǎo)體前道檢測(cè)的關(guān)鍵技術(shù)問題，瞄準(zhǔn)該領(lǐng)域骨干企業(yè)急需的高精密光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)核心技術(shù)需求，發(fā)揮多學(xué)科交叉及工程設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì)，針對(duì)照明、成像和測(cè)焦三大模塊技術(shù)指標(biāo)和任務(wù)，開展套刻量測(cè)設(shè)備中核心光學(xué)系統(tǒng)的研制，首次承擔(dān)“集成電路高精密套刻測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)研制及應(yīng)用”揭榜掛帥項(xiàng)目。
 

　　據(jù)悉，合肥市“揭榜掛帥”項(xiàng)目是針對(duì)科技發(fā)展戰(zhàn)略重大問題和基礎(chǔ)研究、核心技術(shù)薄弱環(huán)節(jié)，采取的科技創(chuàng)新舉措，有利于激發(fā)科技創(chuàng)新主體和廣大科技人員的創(chuàng)造潛能和創(chuàng)新效能，從而提高科技攻關(guān)的質(zhì)量和效率。