近日，中國光學工程學會發(fā)布2022年首屆“金燧獎”中國光電儀器品牌榜獲獎名單，長春光機所光柵技術中心開發(fā)的“一維光柵線位移傳感器”榮獲銀獎。
 

　　“金燧獎”中國光電儀器品牌榜旨在面向國家重大戰(zhàn)略需求，以促動關鍵核心技術攻關，突破“卡脖子”技術發(fā)揮關鍵作用為出發(fā)點，重點評選出我國自主研發(fā)、制造、生產(chǎn)的高端光電儀器，為助力我國自主研發(fā)的科學儀器搶占科技戰(zhàn)略制高點、樹立民族品牌自信、展現(xiàn)自主核心競爭力、開拓國內外應用市場創(chuàng)造新的機遇。
 

　　光柵位移測量以光柵柵距為基準，不易受環(huán)境擾動影響，具有更高的抗干擾能力和測量重復性精度，成為高端光刻機、高檔數(shù)控機床等高精度測量需求領域活力發(fā)展的方向。團隊自主研發(fā)了小型化、高刻線密度一維光柵線位移傳感器，首創(chuàng)基于錐面衍射和光柵偏振調制的光柵位移測量方法，解決了衍射干涉光柵測量中反、衍射光信號混疊引入相位誤差和波片參數(shù)引入多階非線性誤差的問題。一維光柵線位移傳感器攻克錐面衍射共點測量、各向異性衍射偏振調制、雙向多普勒干涉測量等多項核心關鍵技術，打破國外相關技術封鎖，實現(xiàn)555nm柵距下350mm位移測量。
 

圖1光柵線位移傳感器測量原理圖
 

　　“中國制造2025”發(fā)展戰(zhàn)略對高端裝備制造業(yè)的質量提出了更高要求，超精密測量對提升高端裝備制造質量具有基礎支撐作用，并在制造全過程中的質量控制發(fā)揮決定性作用。“一維光柵線位移傳感器”打破該領域的對外依賴，有效提升了我國關鍵核心部件研發(fā)水平，推動了高精度位移測量核心部件國產(chǎn)替代，全面支撐我國高端裝備制造能力跨越式發(fā)展！
 

　　2022年首屆“金燧獎”中國光電儀器品牌榜獲獎名單公示