近日，高功率半導體激光器和微光學的全球供應商――炬光科技發布了高功率半導體激光側泵模塊SP17和SP18。此兩款產品可分別實現30kW和5kW的峰值功率輸出，同時實現更高的小信號增益倍數Small Signal Gain (SSG)(SSG: SP17>55，SP18>30)和更好的熒光分布均勻性(>90%)。可用于高功率固體激光泵浦，最終應用于材料精密加工、表面處理、泛半導體制程等先進制造領域。
 

炬光科技高功率半導體激光側泵模塊SP17
 

炬光科技高功率半導體激光側泵模塊SP18
 

　　半導體激光泵浦固體激光器(DPSSL)具有高功率、高光束質量輸出、較小熱效應、高效率、器件結構緊湊等優點，已逐步取代傳統的燈泵激光器和氣體激光器，廣泛應用于多個先進制造領域。半導體激光側泵模塊作為固體激光器的核心泵浦源，直接決定著固體激光器的性能和可靠性表現。
 

　　此次發布的SP17和SP18高功率半導體激光側泵模塊采用炬光科技的高功率半導體激光器作為核心元器件，使用五相泵浦結構，利用光學設計和水路設計，以及有效手段控制ASE(Amplified Spontaneous Emission)效應，實現高泵浦峰值功率、高增益和高熒光分布均勻性。隨著增益的提高，如不采取相應措施，高峰值功率泵浦模塊會產生嚴重的ASE效應，導致增益飽和，無法得到高SSG。SP17和SP18側泵模塊采取有效措施抑制ASE效應，使得SP18的SSG可達30以上，SP17的SSG更是高達55以上。
 

五相泵浦結構示意圖
 

　　產品特點
 

　　1. 高峰值功率及小信號增益倍數(SSG)
 

　　SP18峰值功率為5kW，SSG>30；SP17峰值功率為30kW，SSG>55。高功率和高增益的SP17和SP18可為高能量固體激光器提供可靠的泵浦模塊。
 

　　2. 更好的熒光分布均勻性
 

　　熒光分布均勻性是半導體激光側泵模塊非常重要的指標要求之一。SP17和SP18采用了炬光科技獨特的光場勻化技術，可實現90%以上的熒光分布均勻性，從而抑制側泵模塊的熱效應，可為DPSSL提供更高的光束質量。
 

　　產品性能參數
 

SP17技術指標
 

SP18技術指標