【儀表網 儀表研發】近日，由江蘇省牽頭開發的“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發與應用”和“新型高分辨雜化質譜儀器的研制與應用開發”兩項國家重大科學儀器設備順利通過科技部組織的綜合驗收。其中，昆山禾信承擔的“新型高分辨雜化質譜儀器的研制與應用開發”項目獲得專家的一致好評。
 

 

　　昆山禾信牽頭承擔的“新型高分辨雜化質譜儀器的研制與應用開發”和蘇大維格牽頭承擔的“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發與應用”是“十二五”期間江蘇省獲批的國家重大科學儀器設備開發專項。
 

　　“新型高分辨雜化質譜儀器的研制與應用開發”由昆山禾信聯合省內外16家單位共同完成，在國內首次實現不同種類質量分析器的聯用，完成了3款國際先進的質譜整機研發及工程化，項目成果在全國超過40家單位推廣應用，為南北極科學考察等國家重大科學研究提供支撐服務，實現了國產高端質譜儀器出口歐美發達國家的突破。
 

　　“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發與應用”項目由蘇大維格聯合上海理工大學、中國科學院上海光學精密機械研究所等6家單位共同完成。該項目解決了微納結構光場的可調控技術、圖形的高速率寫入機制、微納結構與納米精度多軸光機系統的設計與可靠性等難題；面向無掩模光刻，研制了紫外激光直寫光刻的關鍵技術、軟件和裝備；實現了從納米光子晶體結構到微米級任意結構的高效率光刻，與目前其他激光直寫技術相比，速度更快、效率更高。