【中國儀表網 儀表市場】MEMS傳感器是基于微機電系統的典型傳感器件。它是指可以批量制造的，集微結構、微傳感器、微執行器以及信號處理和控制電路于一體的器件或系統，是半導體產業的核心技術之一，也是物聯網的重要組成部分。
 

 

　　與傳統的機械傳感器相比，MEMS傳感器具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化等特點。在微米量級的特征尺寸MEMS傳感器可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。因此，MEMS傳感器正逐步取代傳統機械傳感器的主導地位，在消費電子產品、汽車工業、航空航天、機械、化工及醫藥等領域得到廣泛的應用。
 

 

　　從產業鏈環節來看，MEMS傳感器產業的上游產業鏈包括新材料、新工藝、新的制造設備等。MEMS傳感器材料分半導體材料、陶瓷材料、金屬材料和有機材料四大類。下游應用與工業、汽車電子產品、通信電子產品、消費電子產品、專用設備等相關聯。由此可知，MEMS傳感器產業上下游所涉及的領域范圍非常廣泛。
 

 

 

　　我國對MEMS傳感器十分重視，出臺了系列文件大力支持其發展。例如，在我國發布的《中國制造2025》和《國務院關于積極推進“互聯網+”行動的指導意見》中均提及要大力推動傳感器等智能感知元器件的發展和技術突破。“863”計劃和國家科技重大專項均部署了一批MEMS傳感器的研發和產業化項目。
 

　　因此，盡管MEMS傳感器在我國商業化的時間不到10年，我國MEMS傳感器行業在快速發展下，已成為全球MEMS傳感器行業的增長引擎，構建了從科研、產品開發、設計到代工制造、封裝測試、下游應用的完整產業鏈，重點產品包括運動類、聲學類、射頻類、紅外成像等多個領域。
 

　　中國MEMS傳感器產業鏈趨于完整，主要分布在長三角、珠三角地區
 

　　在中國MEMS產業鏈中，科研環節上，我們有包括清華北大等眾多高校以及科研機構；產品研發則主要包括括上海微技術工業研究院、蘇州納米城、無錫物聯網等單位；設計環節有MEMSIC、硅睿科技、敏芯微電子等；代工制造包括中芯國際、華虹宏力、CSMC、ASMC、耐威科技；封裝測試包括長電科技、華天科技、通富微電、晶方科技等；下游應用包括智能手機、平板電腦、汽車、工業等領域。
 

 

　　應用領域上，主要有消費移動領域、汽車與工業領域和生物與醫療領域等。其中，我國MEMS企業主要分布在消費與移動領域和汽車與工業領域；主要產品包括壓力傳感器、麥克風、紅外熱成像等。
 

 

　　在區域分布方面，根據SITRI機構研究，我國MEMS企業主要分布在上海、蘇州、無錫等地，分別占比19%、18%和16%。長三角、珠三角為產業集中區域。